ZTS-3020 / ZTS-3050
Un capteur de précision de profil de surface à haute vitesse fait pour une installation en atelier.
Capteur de profil de surface 3D sans contact
Le capteur de profilage de surface sans contact de la série ZeroTouch® 3000 génère un nuage de points 3D de micro-géométries et de micro-structures jusqu’à des couches d’un seul atome.
Mesures de surface 3D rapides et précises
Le capteur ZeroTouch® Série 3000 utilise plusieurs milliers de profils de surface en utilisant une technologie avancée d’interférométrie en lumière blanche pour capturer des données précises à grande vitesse et des mesures de rugosité de surface 3D en temps réel. Grâce à des caméras haute résolution, le capteur fournit des résultats très pertinents sans les limitations des systèmes de mesure tactiles
Mesures de surface
Les caméras haute résolution mesurent sans contact les surfaces lisses et rugueuses des pièces, caractérisant les surfaces traitées mécaniquement comme les miroirs, les plaques de semi-conducteurs, les micro-lentilles, le verre, le métal, le plastique, le composite ou d’autres surfaces.
Cartographie de précision des hauteurs
Le capteur fonctionne avec des objectifs d’interférence x 2,5 à x50, ce qui donne une représentation rapide et précise des informations de hauteur et des paramètres de surface pertinents à l’aide d’un ajusteur d’objectif piézoélectrique et d’un éclairage à large spectre de longueur d’onde.
Mesures de rugosité conformes à l'ISO
Les objectifs à partir de x10 et plus peuvent être utilisés pour les mesures de rugosité de confirmation ISO conformément aux normes ISO 25178 et ISO 4287.
Aéronautique
- Roulements
- Cylindres, câbles et forages
- Engrenages et pignons
- Arbres et joints
- Mesures en ligne
- Actionneurs
Automobile
- Roulements
- Freins et embrayages
- Capteurs
- Moteurs
- Engrenages et pignons
- Arbres et joints
Semi-conducteurs
- Inspection et métrologie des plaques
- Surfaces polies par électrolyse
- Die attach
- Plaque de buses à jet d’encre
- Valves de haute pureté
Industrie des dispositifs médicaux
- Dispositifs médicaux
- Implants dentaires
- Stents
- Orthopédie
Fabrication de précision
- Pièces usinées de précision
- Outils de coupe
- Lentilles
Électronique grand public
- LEDs
- MEMs
Caractéristiques et avantages
- Mesures sans contact de surfaces lisses, rugueuses et spéculaires telles que le verre, le métal, le plastique et les composites
- Mesure précise de la hauteur et des paramètres de surface pertinents
- Installé à proximité immédiate de la ligne de production
- Inspecter les miroirs, les plaquettes de semi-conducteurs, les microlentilles et les cellules solaires
- Mesures rapides de l’ordre du micron de diverses formes de surface
- Capteur 3D avec objectif interchangeable manuellement
- Capteurs de très haute résolution basés sur l’interférométrie en lumière blanche (5 MP et 2,3 MP)
- Système de positionnement piézoélectrique avec contrôleur en boucle fermée calibré par interférométrie (jusqu’à 400μm de portée de scanning)
- Table de positionnement XY optionnelle avec ajustement Z manuel
- Des algorithmes avancés améliorent la vitesse et réduisent le bruit du système
Caractéristiques
Caméra haute résolution |
5 MP (ZTS-3050) | 2.3 MP (ZTS-3020) | ||||
| Points de mesure | 2,456 x 2,054 | 1,920 x 1,200 | ||||
| Vitesse de balayage, pleine résolution | 77 Hz | 169 Hz | ||||
| Vitesse de balayage RCI | Jusqu’à 2 kHz | Jusqu’à 3.2 kHz | ||||
| Reproductibilité de la topographie | <0.1 nm | <0.15 nm | ||||
| Vitesse de balayage | 5.2 μm/s | 11.4 μm/s | ||||
| Objective / Magnification | Distance de travail / mm | Champ de mesure / mm2 | Point Espacement / μm | Distance de travail / mm | Champ de mesure / mm2 | Espacement des points / μm |
| 2.5x | 10.3 | 6.8 x 5.7 | 2.8 | 10.3 | 7.3 x 4.6 | 3.8 |
| 5x | 9.3 | 3.4 x 2.8 | 1.4 | 9.3 | 3.7 x 2.3 | 1.9 |
| 10x | 7.4 | 1.7 x 1.4 | 0.69 | 7.4 | 1.8 x 1.2 | 0.96 |
| 20x | 4.7 | 0.85 x 0.71 | 0.35 | 4.7 | 0.91 x 0.58 | 0.48 |
| 50x | 3.4 | 0.34 x 0.28 | 0.14 | 3.4 | 0.37 x 0.23 | 0.19 |
| 100x | 2 | 0.17 x 0.14 | 0.07 | 2 | 0.18 x 0.12 | 0.1 |
| 115x | 0.7 | 0.15 x 0.12 | 0.6 | 0.7 | 0.16 x 0.1 | 0.08 |
performance du système |
|
| 1-σ Reproductibilité 0,4 μm Hauteur des marches | <1 nm |
| 1-σ Reproductibilité 12 μm Hauteur des marches | <3 nm |
| 1-σ Reproductibilité 100 μm Hauteur des marches | <20 nm |
Dimensions de la machine |
|
| Poids du capteur | ~2 kg (4.4 lbs) |
| Portée de positionnement grossière (max.) (positionnement Z manuel) |
70 mm |
| Gamme de positionnement fin (positionnement manuel en Z) |
1.9 mm |
| Angle d’inclinaison (dispositif de nivellement) | ±3° |
Balayage |
|
| Portée de balayage | jusqu’à 400 μm |
| Vitesse de balayage maximale | ~400 μm/s |
| Numérisation | jusqu’à 0.01 pm |
Tableau de positionnement1 |
|
| Surface de positionnement | 100 x 100 mm² |
| Capacité de charge | 2 kg |
| Résolution | 0.01 µm |
| Orthogonalité | <10 arcsec |
| Isolation des vibrations | Options disponibles |
1 D’autres tailles de tables de positionnement sont disponibles sur demande.
Ressources
Avantages de la consolidation des opérations de métrologie
Les plateformes de métrologie automatisées garantissent non seulement des produits finis de haute qualité, mais ces solutions à grande vitesse réduisent également le coût total par pièce en consolidant plusieurs opérations de métrologie dans un seul moyen de contrôle.
Améliorer les performances à long terme des systèmes de métrologie
Dans les environnements de fabrication difficiles, l’ajustabilité, l’étalonnage et la surveillance sont des influences clés sur la performance à long terme des systèmes de métrologie automatisés installés dans des environnements non contrôlés
Gains de vitesse en contact vs. profil de surface sans contact
Dans ma mesure de l’état des surfaces, les méthodes optiques sans contact donnent les mêmes résultats de mesure qu’un capteur par contact classique – mais en une fraction de temps.
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Avec des installations de fabrication situées aux États-Unis et en Chine, DWFritz fournit des services de soutien à l’échelle mondiale.
