ZTS-5050

Un capteur de précision de profil de surface à haute vitesse fait pour une installation en atelier

Capteur de profil de surface 3D sans contact

Avec une portée de balayage de 100μm, le système de capteur de profil de surface sans contact de la série ZeroTouch® ZTS-5000 est optimisé pour les nanostructures et les microstructures fonctionnelles.

Mesures de surface 3D rapides et précises

Le capteur ZeroTouch® Série 5000 évalue plusieurs milliers de profils de surface en utilisant la technologie avancée d’interférométrie en lumière blanche pour capturer des données précises à grande vitesse et des mesures de rugosité de surface 3D en temps réel. Grâce à des caméras haute résolution, le capteur fournit des résultats très performants sans les limitations des systèmes de mesure tactiles.

Lateral period limit
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Mesures de surface

Les caméras haute résolution mesurent sans contact les surfaces lisses et rugueuses des pièces, caractérisant les surfaces traitées mécaniquement comme les miroirs, les plaques de semi-conducteurs, les micro-lentilles, le verre, le métal, le plastique, le composite ou d’autres surfaces.

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Cartographie de précision des hauteurs

Le capteur fonctionne avec des objectifs d’interférence x 2,5 à  x50, ce qui donne une représentation rapide et précise des informations de hauteur et des paramètres de surface pertinents à l’aide d’un ajusteur d’objectif piézoélectrique et d’un éclairage à large spectre de longueur d’onde.

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Mesures de rugosité conformes à l'ISO

Les objectifs à partir de  x10 et plus peuvent être utilisés pour les mesures de rugosité de confirmation ISO conformément aux normes ISO 25178 et ISO 4287.

Aéronautique

  • Roulements
  • Cylindres, câbles et forages
  • Engrenages et pignons
  • Arbres et joints
  • Mesures en ligne
  • Actionneurs

Automobile

  • Roulements
  • Freins et embrayages
  • Capteurs
  • Moteurs
  • Engrenages et pignons
  • Arbres et joints
Semiconductor Industry

Semi-conducteurs

  • Inspection et métrologie des plaques
  • Surfaces polies par électrolyse
  • Die attach
  • Plaque de buses à jet d’encre
  • Valves de haute pureté
Medical Devices Industry

Industrie des dispositifs médicaux

  • Dispositifs médicaux
  • Implants dentaires
  • Stents
  • Orthopédie

Fabrication de précision

  • Pièces usinées de précision
  • Outils de coupe
  • Lentilles

Caractéristiques et avantages

  • Mesures sans contact de surfaces lisses, rugueuses et spéculaires telles que le verre, le métal, le plastique et les composites
  • Mesure précise de la hauteur et des paramètres de surface pertinents
  • Installé à proximité immédiate de la ligne de production
  • Inspecter les miroirs, les plaquettes de semi-conducteurs, les microlentilles et les cellules solaires
  • Mesures rapides de l’ordre du micron de diverses formes de surface
  • Capteur 3D avec objectif interchangeable manuellement
  • Capteurs de très haute résolution basés sur l’interférométrie en lumière blanche (5 MP)
  • Système de positionnement piézoélectrique avec contrôleur en boucle fermée calibré par interférométrie (jusqu’à 100μm de portée de scanning)
  • Table de positionnement XY optionnelle avec ajustement Z manuel
  • Des algorithmes avancés améliorent la vitesse et réduisent le bruit du système

Specifications

Caméra haute résolution

5 MP (ZTS-5050)
Points de mesure 2,456 x 2,054
Vitesse de balayage, pleine résolution 77 Hz
Vitesse de balayage RCI Up to 2 kHz
Reproductibilité de la topographie <0.03 nm
Vitesse de balayage 5 μm/s
Objectif / grandissement Distance de travail / mm Mesure d’ouverture numérique Champ / mm2 Espacement des points / μm
2.5x 10.3 0.075 3.4 x 2.8 1.4
5x 9.3 0.13 1.7 x 1.4 0.7
10x 7.4 0.3 0.85 x 0.71 0.35
20x 4.7 0.4 0.43 x 0.36 0.175
50x 3.4 0.55 0.17 x 0.14 0.07
100x 2 0.7 0.09 x 0.07 0.035
115x 0.7 0.8 0.075 x 0.06 0.03

Performance du système

1-σ Reproductibilité 0,4 μm Hauteur des marches <1 nm
1-σ Reproductibilité 12 μm Hauteur des marches <3 nm

Taille de la machine

Poids du capteur ~2 kg (4.4 lbs)
Portée de positionnement grossière (max.)
(positionnement Z manuel)
70 mm
Gamme de positionnement précis
(positionnement manuel en Z)
1.9 mm
Angle d’inclinaison (dispositif de nivellement) ±3°

Scanning

Portée de numérisation jusqu’à 100 μm
Vitesse de numérisation maximale ~200 μm/s
Numérisation jusqu’à 0.01 pm

Tableau de positionnement1

Surface de positionnement 100 x 100 mm²
Capacité de charge 2 kg
Résolution 0.01 µm
Orthogonalité <10 arcsec
Isolation des vibrations Options disponibles

1 D’autres tailles de tables de positionnement sont disponibles sur demande.

Ressources

Avantages de la consolidation des opérations de métrologie

Les plateformes de métrologie automatisées garantissent non seulement des produits finis de haute qualité, mais ces solutions à grande vitesse réduisent également le coût total par pièce en consolidant plusieurs opérations de métrologie dans un seul moyen de contrôle.

Améliorer les performances à long terme des systèmes de métrologie

Dans les environnements de fabrication difficiles, l’ajustabilité, l’étalonnage et la surveillance sont des influences clés sur la performance à long terme des systèmes de métrologie automatisés installés dans des environnements non contrôlés

Gains de vitesse en contact vs. profil de surface sans contact

Dans ma mesure de l’état des surfaces, les méthodes optiques sans contact donnent les mêmes résultats de mesure qu’un capteur par contact classique – mais en une fraction de temps.

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Avec des installations de fabrication situées aux États-Unis et en Chine, DWFritz fournit des services de soutien à l’échelle mondiale.

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